化學(xué)機械研磨拋光設備的優(yōu)勢有哪些？
更新時(shí)間：2016-07-28 點(diǎn)擊次數：2821次
化學(xué)機械研磨拋光設備了一場(chǎng)新的拋光技術(shù)革命，單純的化學(xué)拋光，拋光速率較快，表面光潔度高，損傷低，性好，但表面平整度和平行度差，拋光后表面一致性差；單純的機械拋光表面一致性好，表面平整度高，但表面光潔度差，損傷層深；而化學(xué)機械研磨拋光設備在進(jìn)行研磨拋光加工操作時(shí)，只需將被磨、拋材料放于平整的研磨盤(pán)上，研磨盤(pán)逆時(shí)鐘轉動(dòng)，修正輪帶動(dòng)工件自轉，重力加壓或其它方式對工件施壓，工件與研磨盤(pán)作相對運轉磨擦，來(lái)達到研磨拋光目的。
測試和開(kāi)發(fā)各種不同的微粒，材料，濃度，氧化劑，抑制劑等的拋光液，溝槽形狀，尺寸，彈性，壽命等，測試和發(fā)展拋光墊調節裝置來(lái)優(yōu)化拋光墊的損耗率，修整，效率等，通過(guò)在晶圓墊和調節墊界面處的擁有的傳感器，測量負載和摩擦力，在晶圓墊和調節墊界面處的擁有的傳感器和放大器，測量接觸噪聲，使用聲波表征的缺陷、劃痕，并在加工過(guò)程中分層，化學(xué)機械研磨拋光設備進(jìn)行過(guò)程中，拋光液對工件表面的化學(xué)腐蝕是拋光的*步,其腐蝕作用是拋光液和工件表面接觸時(shí),而新暴露出的工件表面,繼續被拋光化學(xué)腐蝕，這種化學(xué)作用與機械作用的不斷重復,使工件表面逐漸光滑,化學(xué)機械拋光過(guò)程綜合了化學(xué)和機械拋光的優(yōu)勢，單純的化學(xué)拋光，拋光速率較快，單純機械拋光一致性好,表面平整度高。
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